相關(guān)文章 / Related articles
1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
更新時間： 2025-02-27
訪問次數(shù)： 23131
產(chǎn)品報價：
產(chǎn)品簡介： PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
詳細資料：
產(chǎn)品應(yīng)用：二
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成：
PECVD系統(tǒng)配置：
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動，并配置管內(nèi)測溫系統(tǒng)。
3.預(yù)加熱開啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
6.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）
產(chǎn)品特點：
生長溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡單。
天津中環(huán)電爐股份有限公司 地址：天津市北辰區(qū)北辰科技園區(qū)雙川道11號
| 如果你對該產(chǎn)品感興趣，想了解更詳細的產(chǎn)品信息，填寫下表直接與廠家聯(lián)系： |
